探针台是一种很专业的仪器,它主要的功能就是针对半导体元件进行检测,这里面说的半导体元件指的是集成电路,分立器件,光电器件,传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流,电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析,抽查检测等;可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,所以,它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。
随着半导体市场的逐步开放和增长,作为半导体检测的必备仪器—探针台的市场也在逐年增长和扩大中,不论是海外品牌还是国产品牌,近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。
从全球的探针台市场来看,目前还是以国外的企业为主导,他们占据了大部分的探针台市场。近乎7成的市场份额都被国外探针台企业所占据,仅有3成的市场由台湾企业及国内的厂商占据,可以说比重较低。
由于我国在半导体市场上长期被国外企业掣肘,因此,我国已经开始下大力气在半导体的研发中了,国家会给半导体行业很多政策上的扶持。所以,国内的探针台企业也在努力力争上游,带着研发团队不断提升自身技术和自身的竞争力。相信在不久的将来,我国半导体行业将会有飞跃性的进展。
探针台按照功能区分,分为常温探针台,高温探针台,高低温探针台,以及霍尔探针台还有其他定制型专用探针台等,而目前常温探针台,高温探针台无论是性能还是操作使用便捷性上,都已经足以媲美进口品牌,而高低温探针台液氮(77K)温区经过这几年的发展品质也足够稳定,至于超低温液氦(4K)温区还在需要更多的磨练与发展。但是这里值得注意的是不管处于哪个技术要求下的探针台,国产探针台的价格都能比进口探针台相差几倍,甚至几十倍之大。
以下是探针台选型注意事项
※最大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸?
※探针台机械精度要求多高?
※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
※最多需要几个探针同时去点测?
※是否会用到探针卡测试?
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
※探针点测时,对电流的要求能否达到100fa或者以下?低
电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求?
※接驳的测试仪器接口有哪些?
※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有压缩空气?