射频探针的接触是用铍-铜制作的。最早采用射频探针技术与今天的工具是很不相同的，早期探针使用了由一个很短的线极尖而逐渐收敛的50-Ω微带线，通过探针基片上一个小孔而与被测器件（DUT）的压点相接触。当圆晶片的夹具被移动时，线极尖的辐射阻抗会有较大的变化。高频测量使用的极尖设计与用于直流和低频测量的极尖不同，而且必须使50-Ω环境尽可能地接近于DUT压点。之后工程师在探针技术上取得了突破。确定了射频探针的基本要求和工作原理技术。
射频探针要求和原理：
1） 探针的50-Ω平面传输线应当直接与DUT压点相接触而不用接触导线。对于微带线和随后的共面探针设计，探针的接触是用小的金属球来实现的，这个金属球要足够大以保证可靠且可重复性的接触。
2）具有很高重复性的接触可以进行探针的准确校准并将测量参考平面移向其极尖处。来自探针线和到同轴连接器的过渡所产生的探针的损耗及反射是通过由射频电缆和连接器的误差相类似的方式而抵消的
3） 为了能同时接触到DUT的信号压点和接地压点，需要将探针倾斜。这个过程被称为“探针的平面化”。
4） 探针的接触重复性比同轴连接器的可重复性要好得多。便于进行探针极尖和在片标准及专用校准方法的开发。
1）射频和微波模块信号插入，检测和测量输出；
2）高频电路板电气性能分析；
3）高速数字电路分析
射频探针优势：
1. 容易探测测试没有任何焊接过的电路板信号
2. 兼容 pogo 大头针允许探索non-planar 结构
3. 探针的使用寿命更加长久
4. 较少测试时间
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