测试探针按结构如何分类?从结构来看,常见的探针类型主要包括弹性探针、悬臂式探针和垂直式探针。
弹性探针
弹性探针由螺旋弹簧两端套接在上下柱栓上,螺旋弹簧中间部分紧密缠绕(防止高频信号产生附加电感和附件电阻),两端部分稀疏缠绕(可形变减少弹簧刚度对测试件的压强),检测集成电路时,信号从下柱栓向上形成导电路径。
悬臂式探针
悬臂式探针为借由横向悬臂提供探针针部在接触待测半导体产品时适当的纵向位移,以避免探针针部施加于待测半导体产品的针压过大。
垂直式探针
垂直式探针可对应高密度信号接点的待测半导体产品的细间距排列,并借由针体本身的弹性变形提供针尖在接触待测半导体产品所需的纵向位移。
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